六十年代研究员(491)

放下这件事，陆见就又想起了光刻机和蚀刻机的事情，这两个高精密的机器可是非常重要，这两个项目关乎到芯片的生产，而到了现代，各种高新技术几乎都离不开一块高性能的芯片，它几乎就是一个机器的大脑，更是一个国家科技实力的基础，花国需要发展这项技术。不然未来高新技术的发展就会受制于人，而且芯片技术不断发展，自然芯片生产的成本也会大量减少，本来一块硅晶圆只能制作成一块芯片，但是由于芯片技术的发展，一块硅晶圆能生产出成千上万块芯片。当然这需要很长一段时间研究投入。

想到这里他就准备去研究所里面的阅读室去看看，也不知道现在能不能在阅读室里面找到些资料。阅读室在另一栋大楼，陆见关上办公室的门，然后同简明远他们打了个招呼，之后就下楼往那边去了。

陆见这几年虽然很忙，但一直没有落下过填充知识，他能混到现在这个阶段，不仅是因为他有前世的经历和知识，更是因为他来到这边之后一直没有放弃学习，他这么多年来读书的数量自己都记不清了。

陆见到研究所阅读室的时候里面零星有几个人在，这边计算机研究所，里面的资料自然是同计算机相关的，自从前几年花国同M国Y国R国之类的发达国家建立正常的外交关系之后，他们对外交往算是比较正常了，花国在不少国家都建立了外交领事馆。所以他们现在也能收到不少国外的最新的研究资料，当然这些资料都是对外公开的消息，高尖端的技术自然是保密的。还有一些技术涉及到部分关键数据也是保密的。不过陆见到不是很在意，在他那个时代，很多保密技术早就已经落后了，更多保密技术保密的是它的研究方向。

陆见经常来阅读室，很快就来到一个地方，找到同光刻机会有关系的技术资料。

光刻机的核心就是曝光机，整个机器将是将掩膜对准曝光机，利用模版将晶圆表面的保护膜去除掉，使用光制作一个图形。

曝光机大概有三种技术，按照使用时间的跨度，第一种是接触式曝光，曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率差不多，设备很简单，但是很容易造成掩膜板的磨损，使用寿命也很低。之前很多地方都是用这种，但现在已经快被淘汰了。第二种就是接近式曝光，也就是这种技术替代了第一种方式，这种掩膜板和光刻胶的基底层会留下一个微乎其微的空隙，这样也就减少了掩膜板的磨损。

第三种就是投影式曝光，在掩膜板和光刻胶之间使用光学系统，就像陆见他们之前制作芯片的方式一样，当然呢这种技术也是最复杂的哪一种，从扫描投影曝光到步进重复投影曝光，到最后已经变成了扫描步进投影曝光，掩膜板和需要转移图案的尺寸比例从1:1变成了4:1。掩膜板的制作难度也减少了很多，掩膜板上面图案的缺陷的影响也减小了很多。

不过现在国外大多能使用的都是接近式曝光，然后就是投影式曝光中的扫描投影曝光。花国如果想要突破的话最好是将后面两种研究出来，只不过难度还是很大的。不过这些都应该是光学研究所和芯片研究所要操心的事情，陆见他们这次应该设置控制系统还有探测系统之类的，当然有机会说不定也会帮着做一些机械方面的工作。

陆见对光学这一块没有研究，记得上面这一些还是前世的时候有去查过资料，毕竟21世纪，芯片实在是太重要了，要知道后世的时候M国为了限制花国芯片的发展，可是使出了百般手段想要遏制花国重要芯片企业的发展。陆见想到这里不由得在心里下定决心，这一次他一定要帮着花国，他就不相信了，他们现在同M国站在同一起跑线上面，还能落后于M国不成。

虽然他不懂光学，但是提醒一下研究方向还是可以的，要知道他们之前研究投影仪什么的就是同光学研究所合作过的，这一次再次合作，肯定会更有默契。

脑子里各种想法，陆见却没有耽搁自己找资料，很快就将自己需要的资料给找到了，陆见没有在阅读室继续待着，这边还有其他人，看书也不是很方便，还是回办公室看吧。

阅读室里面并没有专门的人看管，大家借书之后都会自觉地在登记簿上面登记，还书的时候也会还到原位，毕竟研究所里面能进来的人一般都是里面的研究员，陌生人进来几乎是不可能的。不过这边虽然没有人管理，但还是会有人过来打扫卫生和上新书。所以这边还是非常干净的。

陆见去登记的时候并没有其他人，所以他很快就将书名登记完了。陆见搬着一堆书就往实验室那边去了，他一共借了八本，捧在手上，高度几乎到了自己的下巴，怕将书摔下来，陆见直接用下巴抵着书。